特許
J-GLOBAL ID:201103010551322954

ニッケル金属膜形成用溶液、およびこれを用いたニッケル金属薄膜の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-007868
公開番号(公開出願番号):特開2001-192843
特許番号:特許第3300811号
出願日: 2000年01月17日
公開日(公表日): 2001年07月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ヒドラゾンユニットを有する還元性のキレート型配位子と、ニッケルイオンとを含有するアルコール溶液からなるニッケル金属膜形成用溶液。
IPC (1件):
C23C 18/08
FI (1件):
C23C 18/08
引用特許:
出願人引用 (1件)

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