特許
J-GLOBAL ID:201103015256835569
薄膜型光吸収膜
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伏見 直哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-047068
公開番号(公開出願番号):特開2011-180532
出願日: 2010年03月03日
公開日(公表日): 2011年09月15日
要約:
【課題】光を吸収する薄膜の多層膜からなる薄膜型光吸収膜であって、高温環境下または高湿環境下において使用しても光吸収特性が劣化せず、簡単な製造プロセスによって製造すること。【解決手段】薄膜型光吸収膜は、基板(101)上に形成された多層膜からなる薄膜型光吸収膜であって、該多層膜は、四酸化三鉄からなる酸化鉄層(103)と、誘電体からなる誘電体層(105)と、を含み、該酸化鉄層の厚さは、100ナノメータ以上で、該酸化鉄層及び該誘電体層が、反射防止層を形成している。【選択図】図6
請求項(抜粋):
基板上に形成された多層膜からなる薄膜型光吸収膜であって、該多層膜は、四酸化三鉄からなる酸化鉄層と、誘電体からなる誘電体層と、を含み、該酸化鉄層の厚さは、100ナノメータ以上で、該酸化鉄層及び該誘電体層が、反射防止層を形成する薄膜型光吸収膜。
IPC (4件):
G02B 5/22
, G02B 1/11
, B32B 9/00
, B32B 7/02
FI (4件):
G02B5/22
, G02B1/10 A
, B32B9/00 A
, B32B7/02 103
Fターム (25件):
2H048CA05
, 2H048CA09
, 2H048CA13
, 2H048CA14
, 2H048CA17
, 2H048CA24
, 2K009AA03
, 2K009BB01
, 2K009CC02
, 2K009CC03
, 2K009DD04
, 4F100AA23B
, 4F100AB01D
, 4F100AK45A
, 4F100AR00C
, 4F100AT00A
, 4F100BA03
, 4F100BA04
, 4F100BA07
, 4F100EH66
, 4F100GB41
, 4F100GB51
, 4F100JG05C
, 4F100JN06
, 4F100YY00B
引用特許:
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