界面熱抵抗測定方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295627
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116711
特許番号：特許第3265362号
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1物質よりなる層1と第2物質よりなる層2の積層により構成される2層試料間の界面熱抵抗を、2層試料の表面をパルス加熱し2層試料の裏面の温度応答を観測することにより測定することを特徴とする界面熱抵抗測定方法。

IPC (1件)：