特許
J-GLOBAL ID：201103023549790406
ドライエッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願昭63-193832
公開番号（公開出願番号）：特開平2-042721
特許番号：特許第2692162号
出願日： 1988年08月02日
公開日（公表日）： 1990年02月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板が冷却できるドライエッチング装置において、窒化アルミニウム、炭化ケイ素またはダイヤモンドを高周波を印加する基板ホルダー部と冷却部の間に挿入した基板台部を有することを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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