特許

J-GLOBAL ID：201103026083481458

薄膜磁気ヘッドの検査方法

発明者： 伊藤 勝 ,  大橋 啓之
出願人/特許権者： 日本電気株式会社 ,  茨城日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-196754
公開番号（公開出願番号）：特開平3-062306
特許番号：特許第2747047号
出願日： 1989年07月31日
公開日（公表日）： 1991年03月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の電磁変換素子をウェハ上に形成し、この上に無機材料の保護膜を形成してなる薄膜磁気ヘッドウェハより作られる薄膜磁気ヘッドの検査方法において、前記薄膜磁気ヘッドウェハの前記電磁変換素子付近の前記保護膜を除去して、溝を形成する段階と、少なくとも二種類の周波数で、前記電磁変換素子のインダクタンスを測定する段階とを有することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの検査方法。

IPC (3件)：

G11B 5/455 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/49

FI (3件)：

G11B 5/455 N ,  G11B 5/31 Z ,  G11B 5/49 C