特許

J-GLOBAL ID：201103030901643776

熱伝導率測定法

発明者： 小野 晃 ,  馬場 哲也 ,  松本 毅 ,  山本 三七男
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  セイコー電子工業株式会社
代理人 (2件)： 林 敬之助 ,  林 敬之助
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平2-183675
公開番号（公開出願番号）：特開平4-069559
出願日： 1990年07月10日
公開日（公表日）： 1992年03月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定薄膜とその基板となる層の間に一定間隔で連続して並列に熱源を配置し、この熱源が周期発熱した状態における前記被測定薄膜表面の温度変化を測定することにより、被測定薄膜と基板の熱的影響を分離して測定できるようにしたことを特徴とする熱伝導率測定法。

IPC (1件)：

G01N 25/18 E 6928-2J