特許
J-GLOBAL ID:201103055501607528

光信号処理回路、光信号処理回路付半導体装置および光信号処理回路の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 尾身 祐助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-138364
公開番号(公開出願番号):特開2010-286549
出願日: 2009年06月09日
公開日(公表日): 2010年12月24日
要約:
【課題】導波路を有する光回路を半導体装置にフリップチップ接続する光回路付半導体装置に関して、外部との光入出力を行う光ファイバとの高効率な接続を可能とする。【解決手段】光信号処理回路付半導体装置1は、半導体装置2と、半導体装置2に接続部4を介して接続された光信号処理回路3とからなる。光信号処理回路3は、光ファイバ20の端部を収納し、光信号の入・出射を行なう光入・出力部3aと、光入・出力部3aに接して形成された光回路3bとにより構成される。光入・出力部3aは、貫通する穴5aの開けられた基材5と、その穴5aの中に充填された有機樹脂12とにより構成され、有機樹脂12には、成形により、凸レンズ状のビーム形状変換部10と、光ファイバ20の位置決めを行う位置決め部11とが形成されている。光回路3bの光導波路6には、光導波路6を通る光を直角に曲げる光路変換部9が設けられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光ファイバまたはフェルールを受納する光入・出力部と、前記光入・出力部の一主面上に形成され、前記光入・出力部と光学的に結合された光回路と、を備えた光信号処理回路であって、 前記光入・出力部は、第1主面とこれと平行な第2主面とを有し、貫通穴が形成された基材と、前記基材の前記貫通穴に埋め込まれた成形体とからなり、前記光入・出力部には、前記基材の第2主面側から挿入される光ファイバまたはフェルールを位置決めして受納する位置決め部と、前記成形体からなる、光ファイバから出射されるビームを収束するビーム形状変換部とが形成されており、 前記光回路は前記基材の第1主面側に形成され、該光回路には、光導波路と、該光導波路に光学的に結合された光機能素子と、該光機能素子に接続された電気配線と、前記光導波路の光路を前記ビーム形状変換部側へと変換する光路変換部とが形成されている、 ことを特徴とする光信号処理回路。
IPC (1件):
G02B 6/30
FI (1件):
G02B6/30
Fターム (13件):
2H137AB08 ,  2H137BA01 ,  2H137BA52 ,  2H137BA53 ,  2H137BA58 ,  2H137BC08 ,  2H137BC14 ,  2H137BC25 ,  2H137BC51 ,  2H137BC73 ,  2H137CA15A ,  2H137EA02 ,  2H137EA11
引用特許:
審査官引用 (9件)
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