特許
J-GLOBAL ID:201103081772708894

薄膜型光吸収膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伏見 直哉
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-047068
特許番号:特許第4568810号
出願日: 2010年03月03日
要約:
【要約】 本発明の一態様による薄膜型光吸収膜は、基板(101)上に形成された多層膜からなる薄膜型光吸収膜であって、該多層膜は、四酸化三鉄からなる酸化鉄層(103)と、誘電体からなる誘電体層(105)と、を含み、該酸化鉄層の厚さは、100ナノメータ以上で、該酸化鉄層及び該誘電体層が、反射防止層を形成している。 【選択図】図6
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板上に形成された多層膜からなる薄膜型光吸収膜であって、該多層膜は、四酸化三鉄からなる酸化鉄層と、誘電体からなる誘電体層と、を含み、該酸化鉄層の厚さは、100ナノメータ以上で、該酸化鉄層及び該誘電体層が、反射防止層を形成する薄膜型光吸収膜。
IPC (3件):
G02B 5/28 ( 200 6.01) ,  G02B 5/00 ( 200 6.01) ,  G02B 1/11 ( 200 6.01)
FI (3件):
G02B 5/28 ,  G02B 5/00 Z ,  G02B 1/10 A
引用特許:
出願人引用 (5件)
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