特許
J-GLOBAL ID：201103083192122070

無限軌道並進回転ステージ

発明者：
姜 顯旭

姜 顯旭 について

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横山 浩

横山 浩 について

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井上 貴仁

井上 貴仁 について

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多辺 由佳

多辺 由佳 について


出願人/特許権者：
独立行政法人科学技術振興機構

独立行政法人科学技術振興機構 について

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独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-276434
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090282
特許番号：特許第3844114号
出願日： 2000年09月12日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(a)略正三角形になるように配置され、2本の直交する伸縮型ピエゾ素子に保持される硬度が高い3個の球体と、 (b)該3個の球体によって支持される試料台とを備え、 (c)前記3個の球体を所定のタイミングと方向に繰り返し振動させることにより、前記3個の球体を1つずつ順次移動させ、結果として3個の球体の全てを移動させ、摩擦力のみにて前記試料台を駆動することを特徴とする無限軌道並進回転ステージ。
IPC (5件)：
G01N 13/10 ( 200 6.01) ,  G02B 21/26 ( 200 6.01) ,  G12B 21/20 ( 200 6.01) ,  G12B 5/00 ( 200 6.01) ,  H02N 2/00 ( 200 6.01)
FI (5件)：
G01N 13/10 B ,  G02B 21/26 ,  G12B 1/00 601 G ,  G12B 5/00 T ,  H02N 2/00 C
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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