微小領域熱物性測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , , , ,
代理人 (2件)：中野佳直 , 中野佳直
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-290555
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121585
特許番号：特許第3294206号
出願日： 1998年10月13日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料表面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜を通して前記試料表面を加熱する加熱用レーザビームを発する加熱用レーザと、該加熱用レーザビームを交流変調する変調器と、加熱した試料表面に照射する測温用レーザビームを発する測温用レーザと、前記両レーザビームを前記試料表面のほぼ同一位置に集光させる顕微鏡光学系と、前記測温用レーザビームの反射光を検出する手段と、前記検出された反射光に基づいて試料の熱物性値を算出する手段とを備え、前記測温用レーザビームの反射光強度変化の加熱用レーザビーム強度変化に対する位相遅れから熱物性値を算出することを特徴とする微小領域熱物性測定装置。

IPC (1件)：