特許
J-GLOBAL ID：201103093930296971
薄膜材料、光学特性改良フィルム、反射防止フィルム、導電性材料、及びそれらを製造する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143206
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327310
特許番号：特許第4568924号
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属アルコキシドまたは金属塩から得られる金属酸化物ゾルを透明支持体上に塗布して金属酸化物ゲル薄膜を形成した後、該薄膜にプラズマ処理を行って、透明支持体上に金属酸化物含有皮膜を形成した薄膜材料であって、
前記透明支持体が、プラスチックであり、
前記プラズマ処理が、対向する電極の少なくとも一方の電極表面に固体誘電体を配設してなる誘電体被覆電極を有するプラズマ処理装置に、少なくとも不活性ガスを60%以上導入し、大気圧もしくはその近傍でプラズマ放電を発生させ、対向する電極間でプラズマ放電処理を行うものであり、かつ、
前記金属酸化物含有皮膜が、Li、Be、B、Na、Mg、Al、Si、K、Ca、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Cd、In、Sn、Sb、Cs、Ba、La、Hf、Ta、W、Tl、Pb、Bi、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuから選ばれた1種の金属の酸化物または2種以上の金属が組み合わされた複合酸化物を含有する、ことを特徴とする薄膜材料。
IPC (6件)：
C01B 13/32 ( 200 6.01)
, C01B 33/12 ( 200 6.01)
, C08J 7/00 ( 200 6.01)
, G02B 1/11 ( 200 6.01)
, G02B 1/10 ( 200 6.01)
, H01B 5/14 ( 200 6.01)
C01B 13/32
, C01B 33/12 C
, C08J 7/00 302
, G02B 1/10 A
, G02B 1/10 Z
, H01B 5/14 Z
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (13件)
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