特許

J-GLOBAL ID：201103099629907262

半導体素子及びその製造装置

発明者： 日浦 英文
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 吉村 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-141900
公開番号（公開出願番号）：特開2010-287811
出願日： 2009年06月15日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：

【課題】汎用性が高く、低コストで省資源である方法を採用し、実用性に富み、任意の場所、任意の形状に金属又は半導体を二次元的又は三次元的に形成できる半導体素子及びその製造装置を提供する。【解決手段】炭素材料と金属酸化物材料又は半導体酸化物材料とを有する還元反応構造1Aを持つ層構造30Aを準備し、還元反応構造1Aに対して局所的にエネルギーを集中することが可能で、かつ還元反応構造1Aに対して2次元的又は3次元的に走査することが可能な熱源を用い、この熱源によって酸化還元反応が起こる温度以上に還元反応構造1Aの一部を走査しつつ選択的に加熱して、炭素材料により金属酸化物材料又は半導体酸化物材料をそれぞれ金属又は半導体に還元し、所望の形状の金属領域又は半導体領域(金属層又は半導体層3A)を形成することによって製造されることを特徴とする半導体素子40Aとすることにより上記課題を解決する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

炭素材料と金属酸化物材料又は半導体酸化物材料とを有する還元反応構造を持つ層構造を準備し、 前記還元反応構造に対して局所的にエネルギーを集中することが可能で、かつ前記還元反応構造に対して2次元的又は3次元的に走査することが可能な熱源を用い、当該熱源によって酸化還元反応が起こる温度以上に前記還元反応構造の一部を走査しつつ選択的に加熱して、前記炭素材料により前記金属酸化物材料又は前記半導体酸化物材料をそれぞれ金属又は半導体に還元し、所望の形状の金属領域又は半導体領域を形成する、 ことによって製造されることを特徴とする半導体素子。

IPC (8件)：

H01L 21/28 ,  H01L 21/288 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/768

FI (11件)：

H01L21/28 K ,  H01L21/288 Z ,  H01L27/04 C ,  H01L27/04 L ,  H01L27/04 P ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618A ,  H01L21/20 ,  H01L21/90 A

Fターム (105件)：

4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD34 ,  4M104DD37 ,  4M104DD51 ,  4M104DD73 ,  4M104DD78 ,  4M104DD81 ,  4M104DD83 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F033GG03 ,  5F033GG04 ,  5F033HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH14 ,  5F033HH15 ,  5F033HH16 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033NN12 ,  5F033NN29 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033PP26 ,  5F033PP35 ,  5F033QQ54 ,  5F033QQ60 ,  5F033QQ61 ,  5F033QQ68 ,  5F033QQ74 ,  5F033QQ83 ,  5F033VV09 ,  5F033VV10 ,  5F033VV11 ,  5F033VV13 ,  5F033XX34 ,  5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038AR07 ,  5F038AZ04 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ17 ,  5F038EZ20 ,  5F110AA16 ,  5F110CC05 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110FF22 ,  5F110GG01 ,  5F110GG07 ,  5F110GG15 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG58 ,  5F110HK01 ,  5F110HK16 ,  5F110HK18 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK42 ,  5F152BB02 ,  5F152BB10 ,  5F152CC05 ,  5F152CC07 ,  5F152CE03 ,  5F152CE16 ,  5F152CE18 ,  5F152CF18 ,  5F152FF01 ,  5F152FF06 ,  5F152FF19 ,  5F152FF20 ,  5F152FF21 ,  5F152FF46 ,  5F152FG18 ,  5F152FH01 ,  5F152FH08 ,  5F152LP01 ,  5F152LP07 ,  5F152MM01 ,  5F152MM04 ,  5F152NN30 ,  5F152NP13 ,  5F152NQ01 ,  5F152NQ03