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J-GLOBAL ID:201202112501475122   整理番号:12A1417976

STIの接合特性のトレンチ深さ依存性

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巻: 48th  号:ページ: 919  発行年: 2001年03月28日 
JST資料番号: Y0054A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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