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J-GLOBAL ID：201202149174261793   整理番号：12A1354964

回折型シリンドリカルレンズ製作のための電子線ドーズ分布の自動補正

著者 (5件)： 岡野正登 (大阪科学技術セ) ,  山本和也 (ナルックス) ,  四谷任 (大阪科学技術セ) ,  平井義彦 (大阪府大 工) ,  菊田久雄 (大阪府大 工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 61st  号： 3  ページ： 864  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 回折 ,  シリンドリカルレンズ ,  製作 ,  電子線 ,  分布 ,  自動補正