文献
J-GLOBAL ID：201202162870572694
整理番号：12A1417032
プラズマ制御PLD法による炭素薄膜堆積-酸素プラズマのエッチング効果について-
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著者 (5件)：
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資料名：
巻：
48th
号：
2
ページ：
603
発行年：
2001年03月28日
JST資料番号：
Y0054A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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