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J-GLOBAL ID：201202211781414032   整理番号：12A0064332

ナノ銅粉末を用いたナノインプリント樹脂型インサートMIMによるマイクロ構造体の製造法

著者 (4件)： 西籔和明 (近畿大 理工) ,  田邉大貴 ,  鹿子泰宏 (太盛工業) ,  田中茂雄 (太盛工業)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2011  ページ： ROMBUNNO.J111033  発行年： 2011年09月10日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,熱ナノインプリントリソグラフィ法により作製された微細構造を有するPMMA樹脂成形物を樹脂型に用い,粒径700ナノメートルの純銅粉とバインダにより調合したMIM原料を射出成形し,脱脂および焼結工程を経て幅5および10ミクロン,高さ10ミクロンのラインアンドスペースパターン構造を有するマイクロ構造体を酸化還元雰囲気で焼結可能な製造法を開発した。ナノ銅粉末の脱脂・焼結工程を炭素・酸素分析および断面SEM像から調査した結果,脱脂後の酸化工程が焼結のために極めて重要な工程であることが分かった。(著者抄録)

シソーラス用語： リソグラフィー ,  銅粉 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  *射出成形 ,  金属粉末 ,  *構造体 ,  微細構造 ,  MEMS ,  焼結 ,  走査電子顕微鏡 ,  脱脂 ,  酸化
準シソーラス用語： ナノインプリントリソグラフィー ,  *マイクロ構造体 ,  *金属粉末射出成形

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧粉,焼結  (WC02030X)

タイトルに関連する用語 (7件)： 銅粉末 ,  ナノインプリント ,  樹脂型 ,  インサート ,  MIM ,  マイクロ構造体 ,  製造法