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J-GLOBAL ID:201202214566896947   整理番号:12A0064496

犠牲樹脂型インサート金属粉末射出成形によるインプリント用スタンパーの開発

著者 (4件):
資料名:
巻: 2011  ページ: ROMBUNNO.S041022  発行年: 2011年09月10日 
JST資料番号: X0587C  ISSN: 2424-2667  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究では,マイクロ犠牲樹脂型インサート金属粉末射出成形法を用いて,ニッケル製スタンパーを作製した。また,そのスタンパーを用いてインプリント成形を試み,MIMにより製造したインプリント用スタンパーの有用性について調査した。最小サイズが幅6ミクロン,高さ19ミクロンのライン&スペース形状の構造体への形状転写性に及ぼす焼結温度の影響を調査した。その結果,数マイクロの構造体を有する樹脂成形品を高精度で量産することは困難であるが,幅47ミクロン,高さ150ミクロンの構造体には適用できることが分かった。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
圧粉,焼結  ,  その他の成形 

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