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J-GLOBAL ID：201202220953145712   整理番号：12A0547605

高速液滴の衝突時に発生する最大圧力に関する数値計算

著者 (3件)： 立藏祐樹 (北大) ,  小林一道 (北大) ,  渡部正夫 (北大)
資料名： 日本混相流学会年会講演会講演論文集
巻： 2011  ページ： 194-195  発行年： 2011年08月 
JST資料番号： L4437A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  洗浄 ,  *液滴 ,  *衝突 ,  高速度 ,  *圧力 ,  数値計算 ,  表面 ,  数値解法
準シソーラス用語： レベルセット法 ,  *固体表面 ,  *最大圧力

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U)

タイトルに関連する用語 (3件)： 液滴 ,  衝突 ,  数値計算