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J-GLOBAL ID：201202241542500950   整理番号：12A0249905

超高精細FED用微小電子源の電子光学特性

Optical charasteristics for high definition FED of micro electron source

著者 (10件)： 藤野高弘 (静岡大 電子工研) ,  小池昭史 (静岡大 電子工研) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  吉田知也 (産業技術総合研) ,  西孝 (産業技術総合研) ,  村田英一 (名城大 理工) ,  酒井健太郎 (名城大 理工) ,  根尾陽一郎 (静岡大 電子工研) ,  青木徹 (静岡大 電子工研) ,  三村秀典 (静岡大 電子工研)
資料名： 電気学会電子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EDD-12  号： 1-4.7-29  ページ： 25-28  発行年： 2012年01月27日 
JST資料番号： Z0910A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々研究グループは半導体加工技術により電子源と電子光学系を同一基板内に作製したマイクロサイズの電子線筐筒(マイクロカラム)の実現を目標としている。高精細なクロスオーバー形成が可能となれば,高密度に集積化されたマルチビームが実現可能となり,超高精細なフィールドエミッションディスプレイへの応用が期待される。これまでに,引き出し電極以外に4極から構成されるマイクロカラムの試作を行い,その収束特性の評価を行った。この結果,1mmの作動距離おいて40μm径のクロスオーバー形成に成功している。電子軌道計算により,1μm以下のスポット径縮小を検討した結果,マイクロサイズ電子線筐筒の電子銃には,加速電圧10V程度で300nm以下の平行ビームを形成する事が要求される事が明らかとなった。この仕様を実現する為に,引き出し電極,収束電極,くびれ電極の3極から構成される電子銃を提案,さらにより収束特性の優れた加速型静電レンズを搭載したマイクロカラムの設計及び作製・評価した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *フラットパネルディスプレイ ,  *電界放出アレイ ,  *電子源 ,  電子銃 ,  アノード ,  カソード ,  電子ビーム ,  静電レンズ ,  *電子光学
準シソーラス用語： FED【ディスプレイ】 ,  収束電子ビーム

分類 (2件)： 電子管一般  (NC02010S) ,  表示機器  (NC06030Q)

引用文献 (4件)：

• [1]Akifumi Koike, Tomoya Tagami, Yasuo Takagi, Tomoya Yoshida, Masayoshi Nagao, Toru Aoki, Yoichiro Neo, and Hidenori Mimura,Applied Physics Express 4, 026701 (2011)
• [2]藤野高弘,高木康男,小池昭史,長尾昌善,吉田知也,村田英一,酒田健太郎,根尾陽一郎,青木徹,三村秀典,信学技報,vol.110,no.249,ED2010-135,pp.39-42,2010年10月
• [3]Electron optical properties of three-electrode electron lenses K Kanaya et al 1966 J. Sci. Instrum. 43 416
• [4]M.Nagao, T.Yoshida, S.Kanemaru, Y.Neo, and H.Mimura, Jpn. J. Appl. Phys. 48 (2009) 06FK02

タイトルに関連する用語 (6件)： 超高精細 ,  FED ,  微小 ,  電子源 ,  電子 ,  光学特性