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J-GLOBAL ID：201202274720356333   整理番号：12A0591376

レーザー照射を利用したZnOナノ結晶成長制御

Growth control of ZnO nano-crystals using laser irradiation

著者 (6件)： 中村大輔 (九大) ,  下垣哲也 (九大) ,  岡崎功太 (九大) ,  東畠三洋 (九大) ,  岡田龍雄 (九大) ,  中田芳樹 (大阪大)
資料名： 電気学会光・量子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： OQD-12  号： 1-11  ページ： 15-19  発行年： 2012年03月09日 
JST資料番号： Z0922A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： NAPLD(ナノ微粒子支援レーザ堆積法)において作成条件を変えることで薄膜とナノ結晶を積層堆積した。特に,ZnOナノ結晶を堆積する前に,サファイア基板上にバッファ層として薄膜を堆積させる,具体的にはバッファ層によるZnOナノワイヤの密度制御,およびバッファ層へのレーザ照射による成長位置制御を試みた。バッファ層の堆積時間を変化させてバッファ層上に成長するZnOナノワイヤの密度の変化を確認した。そして,レーザ照射したバッファ層へZnOナノワイヤを作製した。レーザ照射によりバッファ層の表面粗さが低減し,照射部ではZnOナノワイヤ成長密度の低下があった。成長位置制御の試みとして,4光束干渉光学系を利用したバッファ層へレーザ照射した。その結果,干渉パターンに対応した周期構造のZnOナノ結晶が得られ,成長位置制御の可能性を示した。レーザ照射強度を制御してZnOナノ結晶の構造制御の可能性も示した。

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *酸化亜鉛 ,  ナノ結晶 ,  結晶成長 ,  *ナノワイヤ ,  バッファ層 ,  *レーザ蒸着 ,  積層構造 ,  走査電子顕微鏡 ,  表面粗さ ,  位置制御 ,  干渉縞 ,  周期構造
準シソーラス用語： *干渉パターン

分類 (2件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (22件)：

• (1) T. Okada, B. H. Agung, Y. Nakata: "ZnO nano-rods synthesized by nano-particle-assisted pulsed-laser deposition", Appl. Phys. A, Vol.79, 1417 (2004)
• (2) M. Kawakami, B. H. Agung, Y. Nakata, T. Okada: "Synthesis of ZnO Nanorods by Nanoparticle Assisted Pulsed-Laser Deposition", Jpn. J. Appl. Phys. Vol.42 L33 (2003)
• (3) T. Okada, J. Suehiro: "Synthesis of nano-structured materials by laser-ablation and their application to sensors", Appl. Sur. Sci., Vol.253, 7840 (2007)
• (4) R. Guo, J. Nishimura, M. Ueda, M. Higashihata, D. Nakamura, T. Okada: "Vertically Aligned Growth of ZnO Nanonails by Nanoparticle-Assisted Pulsed-Laser Ablation Deposition", Appl. Phys. A, Vol.89, 141 (2007)
• (5) B. Q. Cao, T. Matsumoto, M. Matsumoto, M. Higashihata, D. Nakamura, T. Okada: "ZnO Nanowalls Grown with High-Pressure PLD and Their Applications as Field Emitters and UV Detectors", J. Phys. Chem. C, Vol.113, 10975 (2009)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザー照射 ,  ZnO ,  ナノ結晶 ,  成長制御