抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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高密度磁気記録媒体の開発に向けて,孤立した磁性粒1つに対し1ビットの記録を行うビットパターンメディア(BPM)が注目を集めている。我々は,液相合成法により作製したFePtナノ粒子のBPMへの応用を目的として,粒子の基板上での単層且つ高密度固定化を試みている。これまでに我々は,UVナノインプリントリソグラフィー(UV-NIL)により深さ40nm,ピッチ500nmのパターンを形成した基板上にピコピペットにより粒子分散溶液を塗布することで,孤立したFePtナノ粒子の単層且つ高密度な固定化に成功している。本研究では,パターンを形成することなく基板上での高密度固定化の可能性を探るために,条件選定を試みた。分散溶液の濃度及び供給量を制御することで,UV-NIL等の工程により基板上にガイドパターンを形成することなく,粒子の単層且つ高密度固定化が確認された。また,高K
u材料であるL1
0-FePtへの相転移を目的としたアニール時において,粒子同士の焼結による増粒を低減させるためにFePtナノ粒子を固定化した基板上にSOG塗布を行った。その結果,SOG塗布後及びアニール後においても大きな粒径の変化は確認されなかった。(著者抄録)