特許

J-GLOBAL ID：201203054329904540

走査型プローブ顕微鏡の出力処理方法および走査型プローブ顕微鏡

発明者： 常見 英加 ,  佐藤 宣夫 ,  小林 圭 ,  山田 啓文 ,  松重 和美
出願人/特許権者： 国立大学法人京都大学
代理人 (1件)： 楠本 高義
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2009006658
公開番号（公開出願番号）：WO2010-067570
出願日： 2009年12月07日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：

【課題】 カンチレバー保持部を上下微動させる走査型プローブ顕微鏡において、従来の光てこ法ではカンチレバーのたわみ量θと上下微動量zを測定出力から切り分けることができなかった。 【解決手段】 レーザー光源18から出射した入射光19はカンチレバー13上面で反射し、反射光19aが光検出手段20に入射する。入射光19と反射光19aは、カンチレバー13の長軸を含まない平面内にある。入射光19と反射光19aがカンチレバー13の長軸を含まない平面内にあるため、カンチレバー13のたわみ量θ変化と上下微動量z変化による反射光19aの移動は、光検出手段20の上で異なる方向となる。これにより、カンチレバー13のたわみ量θ変化と上下微動量z変化を、光検出手段20の出力から切り分けることができる。

請求項（抜粋）：

探針を先端に有するカンチレバーと、 前記カンチレバーに入射光を照射するレーザー光源と、 前記カンチレバーによる反射光を検出する光検出手段と、 前記カンチレバーの上下微動手段とを備え、 前記入射光と反射光が、前記カンチレバーの長軸を含まない平面内にあり、 前記上下微動手段により前記カンチレバーの上下微動量を制御しながら、前記探針を走査させる走査型プローブ顕微鏡の出力処理方法において、 前記光検出手段の出力を、演算により、前記カンチレバーのたわみ量と上下微動量とに分解することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の出力処理方法。

IPC (1件)：

G01Q 60/32

FI (1件)：

G01Q60/32

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-228145   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社