特許

J-GLOBAL ID：201203088251283392

光電子顕微鏡

発明者： 津野 勝重 ,  朝倉 清高 ,  内藤 俊雄 ,  菅 育正 ,  宮崎 英機
出願人/特許権者： 株式会社菅製作所
代理人 (1件)： 一色国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-032420
公開番号（公開出願番号）：特開2012-173008
出願日： 2011年02月17日
公開日（公表日）： 2012年09月10日
要約：

【課題】試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる光電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡において、前記対物レンズに、2以上の電極を備えさせ、2以上の前記電極を、前記光が2つの電極間を通るように設置する。このような構成をした光電子顕微鏡は、試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡であって、 前記対物レンズは、2以上の電極を備え、 2以上の前記電極は、前記光が2つの電極間を通るように設置されていることを特徴とする光電子顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 23/227 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/21

FI (4件)：

G01N23/227 ,  H01J37/12 ,  H01J37/09 A ,  H01J37/21 Z

Fターム (15件)：

2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001BA08 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001LA02 ,  2G001PA11 ,  2G001SA01 ,  5C033BB01 ,  5C033CC06 ,  5C033MM07

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 検出装置および検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-332254   出願人：エルエーオーエレクトローネンミクロスコピーゲーエムベーハー
• 二重反射電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-327990   出願人：フォクスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-007387   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平3-074039
  
• 走査光電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-077924   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (5件)

• 検出装置および検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-332254   出願人：エルエーオーエレクトローネンミクロスコピーゲーエムベーハー
• 二重反射電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-327990   出願人：フォクスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
• 電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-007387   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平3-074039
  
• 走査光電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-077924   出願人：株式会社ニコン

引用文献：

出願人引用 (1件)

• 「放射光光電子顕微鏡によるナノスケール磁性体の磁区構造観察」

審査官引用 (1件)

• 「放射光光電子顕微鏡によるナノスケール磁性体の磁区構造観察」