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J-GLOBAL ID：201302202417757739   整理番号：13A0685075

ナノ秒パルスレーザー照射によるGaSb表面上の酸化ガリウムナノドット成長の臨界サイズ

著者 (3件)： 吉田裕 (北大) ,  渡辺精一 (北大) ,  加藤隆彦 (日立 日立研)
資料名： 日本鉄鋼協会日本金属学会両支部合同冬季講演大会概要集  (日本金属学会日本鉄鋼協会両北海道支部合同冬季講演大会概要集)
巻： 2012  ページ： 13  発行年： 2013年01月24日 
JST資料番号： L8377A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パルスレーザ照射 ,  ナノ秒 ,  *アンチモン化ガリウム ,  *酸化ガリウム ,  化合物半導体 ,  周期構造 ,  波長 ,  臨界定数 ,  表面 ,  結晶成長
準シソーラス用語： *ナノドット

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノ秒パルスレーザー ,  GaSb ,  酸化ガリウム ,  ナノドット ,  成長