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J-GLOBAL ID：201302203231665440   整理番号：13A0606001

はり振動を利用した薄膜圧電素子の圧電率の同定

著者 (2件)： 西垣勉 (近畿大) ,  浅井美沙子 (近畿大 生物理工)
資料名： 日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会論文集(CD-ROM)  (日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 20th  ページ： ROMBUNNO.206  発行年： 2012年11月29日 
JST資料番号： L1936B  ISSN： 2424-287X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜状圧電素子の圧電率を同定する方法として,圧電素子が貼付されたはりの振動応答を利用する方法の同定精度と問題点について検討した。まず,高分子圧電フィルムが貼付された片持ちばりの自由振動あるいは強制振動応答変位と素子の出力電圧を実測した。はりの曲げ振動の理論解析から圧電率の同定式を導出し,測定変位と電圧を代入することで圧電d31定数を求めた。膜厚やはりのサイズについて,種種のパラメータの場合につき同定精度を比較検討し,本手法の課題を考察した。(著者抄録)

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *薄膜 ,  圧電気 ,  *定数 ,  強制振動 ,  自由振動 ,  振動試験 ,  片持梁 ,  振動応答 ,  同定 ,  測定精度
準シソーラス用語： *圧電定数

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： はり ,  薄膜 ,  圧電素子 ,  同定