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J-GLOBAL ID：201302281795998423   整理番号：13A0713347

ボロンドープ多結晶ダイヤモンドトランジスタセンサのpH感応特性

DEVELOPMENT OF BORON-DOPED POLYCRISTALLINE DIAMOND FIELD EFFECT TRANSISTOR SENSOR AND ITS CHARACTERISTICS OF PH-SENSITIVITY

著者 (5件)： 新谷幸弘 (横河電機) ,  新谷幸弘 (早稲田大 理工) ,  明道三穗 (早稲田大 理工) ,  井堀翔志 (早稲田大 理工) ,  川原田洋 (早稲田大 理工)
資料名： Chemical Sensors  (Chemical Sensors)
巻： 29  号： Supplement A  ページ： 16-18  発行年： 2013年03月29日 
JST資料番号： L3948A  CODEN： KAGSEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,更なる安定性向上を目指して,ボロンドープ多結晶ダイヤモンド(BDD)SGFETセンサを提案し,終端元素制御によるpH感応特性変化を検討した。その結果,部分酸素終端BDD-SGFETはpH感度を酸素終端化することでpH感応性を誘起させることができ,その長期安定性は従来のノンドープダイヤモンドSGFETと比較して向上することが示された。今後,酸素終端被覆率とFET-IV特性の関係を精査しpH感応性の更なる向上を目指すとともに,実用化のための更なる安定性向上を検討する。

シソーラス用語： ホウ素 ,  ドーピング ,  多結晶 ,  ダイヤモンド ,  トランジスタ ,  感受性 ,  pH【水素イオン指数】 ,  安定性 ,  *FET【トランジスタ】 ,  被覆率 ,  *pHセンサ
準シソーラス用語： BDD【ダイヤモンド】 ,  *pH感受性 ,  *多結晶ダイヤモンド

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  化学プロセスの測定,監視,計装  (XC02030Y) ,  トランジスタ  (NC03070N)

引用文献 (3件)：

• 1) H. Kawarada et al, Phys. Status Solidi a, 185, 79 (2001).
• 2) Y. Sasaki, H. Kawarada et al, Jornal of Physics D, 37, 374020-1-374020-8. (2010)
• 3) Y. Shintani, H. Kawarada et al, Proc. of ICDCM 2012 (2012).

タイトルに関連する用語 (4件)： 多結晶ダイヤモンド ,  トランジスタ ,  pH ,  感応特性