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J-GLOBAL ID：201302283486289151   整理番号：13A0027169

周期配列した金属ナノ突起構造の電磁波応答解析

著者 (1件)： 中田芳樹 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
資料名： 村田学術振興財団年報  (Annual Report of the Murata Science Foundation)
号： 26  ページ： 207-214  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： L5491A  ISSN： 0919-3383  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 多光束の干渉理論を用いて,様々な干渉構造が形成できることを示した。実際に金属薄膜加工を行うことにより,様々なナノ構造が周期配列した構造の作製が可能であることを明らかにした。とくに,先端曲率半径が10nmを切る銀ナノホイスカ構造について述べた。現在は,銀に加え,金のナノホイスカの作製にも成功している。ナノホイスカに電磁波を照射した場合,一部に電界を集中させ得ることを,有限差分時間領域(FDTD)法で示した。さらに,位相及び振幅の変調による多重周期構造及び倍密度構造の作製など,各種周期構造の作製が可能になった。

シソーラス用語： *周期構造 ,  *ナノ構造 ,  *銀 ,  *金 ,  レーザ照射 ,  コヒーレント光 ,  金属薄膜 ,  *ホイスカ ,  電磁波照射 ,  *有限差分時間領域法 ,  隆起 ,  電磁場解析 ,  *リソグラフィー ,  *ナノメータ加工 ,  干渉縞
準シソーラス用語： *ナノホイスカ ,  *干渉リソグラフィー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電磁気学一般  (BD01020N)

引用文献 (14件)：

• [1] Y. Nakata, T. Hiromoto, and N. Miyanaga, "Mesoscopic nanomaterials generated by interfering femtosecond laser processing", Appl. Phys. A 101, pp. 471-474 (2010)
• [2] Y. Nakata, T. Hiromoto, and N. Miyanaga, "Effect of target structure on interfering femtosecond laser processing" , Proc. SPIE, 7584 (2010)
• [3] Y. Nakata, K. Tsuchida, and N. Miyanaga, and H. Furusho, "Liquidly process in femtosecond laser processing", Appl. Surf. Sci. 255, pp. 9761-9763 (2009)
• [4] Y. Nakata, T. Hiromoto, and N. Miyanaga, "Frozen water drops in the nanoworld", SPIE Newsroom, (2009)
• [5] Y. Nakata and N. Miyanaga, "Periodically fine -structured thin film surface processed by interfering femtosecond laser" , Ext. Abst. of LPM 2008,1 (2008).

タイトルに関連する用語 (4件)： 周期配列 ,  突起 ,  電磁波 ,  応答解析