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J-GLOBAL ID：201302297831521225   整理番号：13A0008233

パルスレーザ堆積法による薄膜作製プロセスにおける再現性向上の試み

著者 (7件)： 中林一世 (近畿大 生物理工) ,  野中蔵人 (近畿大 生物理工) ,  原崎隆道 (近畿大 生物理工) ,  楠正暢 (近畿大 生物理工) ,  速水尚 (近畿大 生物理工) ,  本津茂樹 (近畿大 生物理工) ,  西川博昭 (近畿大 生物理工)
資料名： 電気関係学会関西連合大会講演論文集(CD-ROM)
巻： 2012  ページ： ROMBUNNO.9AMH-7  発行年： 2012年11月26日 
JST資料番号： L2273B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レーザ蒸着 ,  *製造 ,  *再現性 ,  発光 ,  時間 ,  観察 ,  フォトダイオード ,  化学種 ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： PINフォトダイオード ,  *パルスレーザ堆積 ,  リアルタイム ,  *薄膜作製

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスレーザ堆積 ,  薄膜作製 ,  プロセス ,  再現性 ,  試み