特許
J-GLOBAL ID:201303000938344041
撮像素子
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-223529
公開番号(公開出願番号):特開2013-084757
出願日: 2011年10月10日
公開日(公表日): 2013年05月09日
要約:
【課題】各撮像素子で特性が異なることを抑制することができると共に、ノイズが導入されることを抑制することができる撮像素子を提供する。【解決手段】単結晶基板10と、当該単結晶基板10に形成された回路部20と、回路部20の一部と直接接触する状態で単結晶基板10の一面に配置された単結晶第1導電型層31と、単結晶第1導電型層31上に配置された単結晶第2導電型層33とを有するフォトダイオード30と、単結晶第2導電型層33と電気的に接続される電極35と、を備える。これによれば、単結晶基板10上に単結晶材料を用いて構成されたフォトダイオード30が形成されているため、撮像素子毎に特性が異なることを抑制することができる。 また、フォトダイオード30における単結晶第1導電型層31と回路部20の一部とを配線を介さずに直接電気的に接続しているため、ノイズが導入されることを抑制することができる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
単結晶基板(10)と、
当該単結晶基板(10)に形成された回路部(20)と、
前記回路部(20)の一部と直接接触する状態で前記単結晶基板(10)の一面に配置された単結晶第1導電型層(31)と、前記単結晶第1導電型層(31)上に配置された単結晶第2導電型層(33)とを有するフォトダイオード(30)と、
前記単結晶第2導電型層(33)と電気的に接続される電極(35)と、を備えていることを特徴とする撮像素子。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H01L 31/10
, H04N 5/369
FI (3件):
H01L27/14 E
, H01L31/10 A
, H04N5/335 690
Fターム (18件):
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA09
, 4M118CA03
, 4M118CB01
, 4M118FA06
, 4M118FA33
, 5C024CX03
, 5C024GX03
, 5C024GX07
, 5C024GY31
, 5F049MA02
, 5F049MB07
, 5F049NB05
, 5F049RA02
, 5F049SS03
, 5F049UA14
, 5F049WA01
引用特許:
出願人引用 (6件)
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特開平2-028373
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特開平4-107968
-
特開昭57-032683
-
特開昭64-055859
-
固体撮像装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-151954
出願人:パナソニック株式会社
-
特開昭62-071270
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審査官引用 (9件)
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特開昭57-032683
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特開平2-028373
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特開昭62-071270
-
特開平4-107968
-
特開昭57-032683
-
特開昭64-055859
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特開昭64-055859
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固体撮像装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-151954
出願人:パナソニック株式会社
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特開昭62-071270
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