炭素ドープ酸化ハフニウム層を有する多機能材

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：栗原浩之 , 村中克年
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-100517
公開番号（公開出願番号）：特開2007-270318
特許番号：特許第4853954号
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基体の少なくとも表面層が炭素ドープ酸化ハフニウム層又は炭素ドープハフニウム合金酸化物層からなる多機能層とハフニウム、ハフニウム合金、ハフニウム合金酸化物又は酸化ハフニウムの何れかで構成されている下層とを具備し、前記炭素ドープ酸化ハフニウム層又は炭素ドープハフニウム合金酸化物層が前記下層から連続して一体的に形成された柱状結晶であることを特徴とする多機能材。

IPC (2件)：