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J-GLOBAL ID:201402218852616102   整理番号:14A0432266

LFEX真空チャンバーの真空制御システムの構築

著者 (15件):
資料名:
号: 67  ページ: 54-57  発行年: 2014年02月10日 
JST資料番号: L0953A  ISSN: 0915-6372  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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LFEXレーザは10PWの超大強度レーザである。発振器から出力されたレーザはパルス伸長器を通り,増幅器で増幅されたレーザをイメージ転送系でリアエンドに伝達され,真空チェンバに入る。真空チェンバは一階と二階に配置し,その間を大型真空ダクトで接続してある。真空チェンバには様々な排気装置と真空計が設置されている。各機器をリモート化及びネットワーク化することで,集中的な運転操作を可能にし,省力化した。真空度やポンプに異常が発生した場合,速やかに対応できるようになった。
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分類 (1件):
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真空技術 
タイトルに関連する用語 (4件):
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