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文献
J-GLOBAL ID:201402228556980899   整理番号:14A0444603

パルスラジオリシス法によるポジ型塩素系電子線レジストの反応機構の研究

著者 (7件):
資料名:
巻: 56th  ページ: 31-32  発行年: 2013年09月24日 
JST資料番号: L0690A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (5件):
分類
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放射線化学一般  ,  放射線による構造と物性の変化一般  ,  放射線高分子化学  ,  電子ビーム・イオンビームの応用  ,  光化学反応,ラジカル反応 
タイトルに関連する用語 (4件):
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