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J-GLOBAL ID：201402238355380856   整理番号：14A0606896

rfマグネトロンスパッタリングによる配向したCoPtCu-MgOおよびCoFePt-Ag-SiO₂ナノ複合材料薄膜の低温合成

Low-temperature synthesis of oriented CoPtCu-MgO and CoFePt-Ag-SiO₂ nanocomposite thin films by rf-magnetron sputtering

著者 (3件)： SATO Kazuhisa (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ.) ,  KOSAKA Tamotsu (Dep. of Materials Sci., Tohoku Univ.) ,  KONNO Toyohiko J. (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ.)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan (Web)  (Journal of the Ceramic Society of Japan (Web))
巻： 122  号： 1425  ページ： 317-321 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： U0409A  ISSN： 1348-6535  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MgO母相中に埋め込まれた配向したCo₅₀Pt₄₀Cu₆ナノ粒子からなるナノ複合材料薄膜を,620Kに保持されたNaCl(001)基板上にrfマグネトロン共スパッタリングによって合成した。スパッタリング出力が増加する時,(001)方位が改善され原子的秩序も促進する。しかしながら,超格子反射はかなり弱く,秩序化した領域はナノ粒子の局所的な区域に制限され,低い秩序を示している。電子回折と元素マッピングが添加物CuはCoPtと合金化していることを明らかにした。著者らは比較のために,675Kにおいて(Co₂₆Fe₂₀)Pt₄₄-Ag₁₀-SiO₂)ナノ複合材料薄膜も製造した。原子秩序化はより高い基板温度と同様,FeとAg添加によって促進する;しかしながら,CoPt合金への三元元素(Cu,Ag,Fe)添加は原子秩序化を促進するのにそれほど大きな効果的ではない。ゆっくりとした秩序化速度の起源を熱力学的パラメータを用いて議論している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *コバルト合金 ,  白金含有合金 ,  銅含有合金 ,  鉄含有合金 ,  *酸化マグネシウム ,  *ナノ複合材料 ,  *複合膜 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  低温 ,  ナノ粒子 ,  結晶方位 ,  規則化
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (24件)：

• 1) D. Weller and M. F. Doerner, Annu. Rev. Mater. Sci., 30, 611–644 (2000).
• 2) T. Oikawa, M. Nakamura, H. Uwazumi, T. Shimatsu, H. Muraoka and Y. Nakamura, IEEE Trans. Magn., 38, 1976–1978 (2002).
• 3) B. D. Terris and T. Thomson, J. Phys. D Appl. Phys., 38, R199–R222 (2005).
• 4) M. H. Kryder, E. C. Gage, T. W. McDaniel, W. A. Challener, R. E. Rottmayer, G. Ju, Y. Hsia and M. F. Erden, Proc. IEEE, 96, 1810–1835 (2008).
• 5) K. Coffey, M. A. Parker and J. K. Howard, IEEE Trans. Magn., 31, 2737–2739 (1995).

タイトルに関連する用語 (8件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  配向 ,  MgO ,  Ag ,  SiO2 ,  ナノ複合材料 ,  薄膜 ,  低温合成