文献

J-GLOBAL ID：201402238401690776   整理番号：14A1402541

PLD法による合金薄膜生成プロセスにおける膜厚分布の調査

著者 (3件)： 松村拓紀 (鈴鹿工高専) ,  青山剛士 (鈴鹿工高専) ,  柴垣寛治 (鈴鹿工高専)
資料名： 電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (電気・電子・情報関係学会東海支部連合大会(CD-ROM))
巻： 2014  ページ： ROMBUNNO.PO2-20  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： L1634B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *レーザ蒸着 ,  *分布 ,  機能材料 ,  構成 ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： *PLD法 ,  形状記憶材料 ,  *合金薄膜 ,  *膜厚分布 ,  薄膜形成

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の結晶構造  (BK06000V)

タイトルに関連する用語 (5件)： PLD法 ,  合金薄膜 ,  プロセス ,  膜厚分布 ,  調査