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J-GLOBAL ID:201402261613683860   整理番号:14A0304270

誘導ナノ構造科学 化学的界面制御による金属ナノ粒子の単層配列形成とその高機能デバイス応用-ウエハースケールでのテラナノドット/平方インチ級配列膜形成を目指して-

著者 (9件):
資料名:
巻: 34  号:ページ: 9-17  発行年: 2014年03月05日 
JST資料番号: Y0021A  ISSN: 0286-4835  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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ナノ粒子のバルク的な材料特性とそのナノサイズ効果を利用した高機能デバイス開発は,デバイスに応じた粒子設計による粒子合成と配列技術の確立なくしては実現し得ない。本稿では,特に,ウエットプロセスによるナノ粒子合成と化学的界面制御による単層状の自己組織的配列形成制御,ウエハーレベルへのスケールップ展開を見据えた我々の取り組みを紹介する。(著者抄録)
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分類 (3件):
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金属薄膜  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  電子・磁気・光学記録 
物質索引 (1件):
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