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J-GLOBAL ID：201402276905702103   整理番号：14A0691072

ATカット水晶ウエハ用3D単一凹面渦異方性エッチングシミュレーション

3D Single Concave Vertex Anisotropic Etching Simulation for AT-cut Quartz Wafer

著者 (5件)： ZHANG Yu (Waseda Univ.) ,  OIGAWA Hiroshi (Waseda Univ.) ,  ZHAO Meng (Waseda Univ.) ,  IKEZAWA Satoshi (Waseda Univ.) ,  UEDA Toshitsugu (Waseda Univ.)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2014  ページ： ROMBUNNO.3-143  発行年： 2014年03月05日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ATカット ,  *MEMS ,  *石英 ,  *ウエハ【IC】 ,  *エッチング ,  異方性 ,  湿式法 ,  計算機シミュレーション ,  三次元
準シソーラス用語： 水晶 ,  異方性エッチング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： ATカット ,  水晶 ,  ウエハ ,  3D ,  凹面 ,  渦 ,  異方性エッチング ,  シミュレーション