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J-GLOBAL ID：201402289459462556   整理番号：13A1954692

TLZ法による微小重力下SiGe結晶成長実験(その1-実験概要)

著者 (6件)： 木下恭一 (宇宙航空研究開発機構) ,  荒井康智 (宇宙航空研究開発機構) ,  稲富裕光 (宇宙航空研究開発機構) ,  塚田隆夫 (東北大 大学院工学研究科) ,  宮田浩旭 (エイ・イー・エス) ,  田中涼太 (エイ・イー・エス)
資料名： 結晶成長国内会議予稿集(CD-ROM)  (JCCG予稿集(CD-ROM))
巻： 43rd  ページ： ROMBUNNO.08PA01  発行年： 2013年 
JST資料番号： L6730B  ISSN： 2188-7268  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素合金 ,  *単結晶 ,  微小重力 ,  *ゾーン融解 ,  *拡散律速 ,  *ゲルマニウム含有合金 ,  化合物半導体 ,  液相成長 ,  液体内拡散
準シソーラス用語： *TLZ法 ,  *シリコンゲルマニウム合金

分類 (2件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X) ,  液体の輸送現象一般  (BL06011A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微小 ,  重力 ,  SiGe ,  結晶成長 ,  実験 ,  概要