特許

J-GLOBAL ID：201403062251689564

蒸着装置及び薄膜形成方法

発明者： 福田 和浩 ,  硯里 善幸 ,  高橋 伸明
出願人/特許権者： コニカミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人光陽国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012055640
公開番号（公開出願番号）：WO2012-121237
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：

蒸着装置10は、真空容器1の外部から内部に成膜材料を塗布したドナーベルトSを供給するベルト材供給手段5を備え、ベルト材供給手段5は、ドナーベルトSを所定の搬送経路で搬送する乾燥ローラー52及び加熱ローラー53と、真空容器1の外部に配されドナーベルトSに成膜材料を塗布するコーター51と、真空容器1の外部に配されコーター51により塗布された成膜材料を乾燥させる乾燥ローラー52と、真空容器1に形成され、成膜材料を有するドナーベルトSを当該真空容器1の内部に挿通させる挿通部54と、真空容器1の内部に挿通されたベルト材上の成膜材料を加熱して蒸発させる加熱ローラー53と、が備えられる。これにより、成膜材料が劣化すること無く長時間安定して蒸着でき、蒸着時の欠陥も発生することが無く蒸着することができる。

請求項（抜粋）：

真空容器内で基板上に薄膜を蒸着形成する蒸着装置において、 前記真空容器の外部から前記真空容器の内部に成膜材料を塗布したベルト材を供給するベルト材供給手段を備え、 前記ベルト材供給手段は、 前記ベルト材を所定の搬送経路で搬送するベルト材搬送手段と、 前記真空容器の外部に配され、前記ベルト材に成膜材料を塗布する塗布手段と、 前記真空容器の外部に配され、前記塗布手段により前記ベルト材に塗布された成膜材料を乾燥させる乾燥手段と、 前記真空容器に形成され、前記乾燥手段により乾燥された成膜材料を有する前記ベルト材を、当該真空容器の内部に挿通させる挿通部と、 前記挿通部を介して前記真空容器の内部に挿通された前記ベルト材上の成膜材料を加熱して蒸発させる加熱手段と、 が備えられることを特徴とする蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/24 D ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (19件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB02 ,  3K107CC22 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28 ,  3K107GG32 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029DA10 ,  4K029DB07 ,  4K029DB15 ,  4K029DB17 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03 ,  4K029KA09