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J-GLOBAL ID：201502205107735984   整理番号：15A0094649

講座 電子顕微鏡による材料研究 13 異種原子注入

著者 (2件)： 柴山環樹 (北大 大学院工学研究院 エネルギー・マテリアル融合領域研究セ) ,  渡辺精一 (北大 大学院工学研究院 エネルギー・マテリアル融合領域研究セ)
資料名： 軽金属  (Journal of Japan Institute of Light Metals)
巻： 64  号： 12  ページ： 654-662  発行年： 2014年12月30日 
JST資料番号： F0772A  ISSN： 0451-5994  CODEN： KEIKA6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,超高圧電子顕微鏡にイオン加速器を連結し原子力材料や半導体材料の原子レベルのナノ構造からサブミリのマクロ構造までのマルチスケールの微細構造,組織変化のその場観察が精力的に行われている。本稿では,イオン加速器による異種元素注入法についてその歴史を概観するとともに,その機構と得られた研究のトピックス,今後の展開,展望について解説する。1)イオン加速器連結型電子顕微鏡開発の歴史;イオン加速器を電子顕微鏡に連結して照射効果のその場観察に取り組む研究の歴史,イオンとレーザの複合量子ビーム,集束イオンビーム加工装置,ナノスケール3次元構造の造形をその場観察する装置の開発。2)イオン加速器連結型電子顕微鏡;電子顕微鏡,イオン加速器の選択,3)異種原子注入を応用した材料研究;半導体への原子注入,貴金属ナノ粒子と光の相互作用を利用した光学デバイス,異種元素注入の材料開発への応用。

シソーラス用語： *電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *材料科学 ,  *イオン注入 ,  原子 ,  加速器 ,  放射線効果 ,  その場観察 ,  歴史 ,  集束イオンビーム ,  ビーム ,  開発 ,  半導体 ,  ナノ粒子 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： 電子顕微鏡観察研究 ,  電子顕微鏡検査法 ,  *異種原子 ,  イオン加速器 ,  照射効果 ,  量子ビーム ,  複合化 ,  事例紹介 ,  材料開発 ,  貴金属ナノ粒子

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (34件)：

• 1) P. B. Hirsch, A. Howie, R. B. Nicholson, D. W. Pashley and M. J. Whelan: Electron Microscopy of Thin Crystals, Krieger Publishing Company, (1965), 1-549.
• 2) B. D. Williams and C. B. Carter: Transmission Electron Microscopy, A Textbook for Materials Science, Plenum Publishing Corporation, (1996), 3-729.
• 3) G. Gaietta, T. J. Deerinck, S. R. Adams, J. Bouwer, O. Tour, D. W. Laird, G. E. Sosinsky, R. Y. Tsien and M. H. Ellisman: Science, 296 (2002), 503-507.
• 4) G. M. Gaietta, T. J. Deerinck and M. H. Ellisman: Cold Spring Harb Protoc, (2011), doi:10.1101/pdb.top94.
• 5) 高橋平七郎,木下博嗣,柴山環樹:プラズマ・核融合学会誌,76(2000),360-367.

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子顕微鏡 ,  研究 ,  異種原子 ,  注入