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J-GLOBAL ID：201502213258268230   整理番号：15A0978737

液滴の滑りメカニズムを解明するためのMEMS力センサ

MEMS Force Sensor for Study of Droplet Sliding

著者 (4件)： NGUYEN Thanh-Vinh (東大) ,  高橋英俊 (東大) ,  松本潔 (東大) ,  下山勲 (東大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-15  号： 31-43  ページ： 47-51  発行年： 2015年07月02日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロピラーアレイ上を滑り落ちる液滴の接触面の圧力と摩擦力を直接的に評価することを目的に,MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術をベースとした微小なピエゾ抵抗型の力センサ(サイズが数十μmで,0.1μN以下の分解能を持つセンサ)を作製し,実際に計測を行った。その結果,液滴がマイクロピラーアレイ上を滑り落ちるとき,斜面との摩擦が液滴の後縁に集中することが分かった。さらに,液滴のサイズが大きくなると接触面内部における垂直方向の力は小さくなるが,液滴の後縁における力の最大値はそのサイズに依存しない傾向であることが分かった。

シソーラス用語： *液滴 ,  配列 ,  柱 ,  微細構造 ,  *滑り ,  MEMS ,  *センサ ,  力 ,  電気抵抗 ,  圧抵抗効果
準シソーラス用語： ピラーアレイ ,  マイクロピラー ,  *力センサ ,  ピエゾ抵抗

分類 (1件)： 膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U)

引用文献 (13件)：

• R. Blossey, ”Self-cleaning surfaces - virtual realities,” Nat Mater, vol. 2, pp. 301-306, 2003.
• Z. Guo, W. Liu, and B.-L. Su, ”Superhydrophobic surfaces: From natural to biomimetic to functional,” Journal of Colloid and Interface Science, vol. 353, pp. 335-355, 2011.
• B. Bhushan, ”Biomimetics: lessons from nature: An overview,” Philosophical Transactions of the Royal Society A: Mathematical, Physical and Engineering Sciences, vol. 367, pp. 1445-1486, 2009.
• B. Bhushan and Y. C. Jung, ”Natural and biomimetic artificial surfaces for superhydrophobicity, self-cleaning, low adhesion, and drag reduction,” Progress in Materials Science, vol. 56, pp. 1-108, 2011.
• J. Ou, B. Perot, and J. P. Rothstein, ”Laminar drag reduction in microchannels using ultrahydrophobic surfaces,” Physics of Fluids, vol. 16, pp. 4635-4643, Dec 2004.

タイトルに関連する用語 (5件)： 液滴 ,  滑り ,  メカニズム ,  MEMS ,  力センサ