文献

J-GLOBAL ID：201502214522093718   整理番号：15A1286884

光断層計測技術を利用したfsレーザー3次元透明半導体結晶欠陥探査法の開発

著者 (6件)： 西澤典彦 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  山中真仁 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  金磊 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  川越寛之 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  清水俊彦 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  猿倉信彦 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
資料名： 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書  (ILE Annual Report of Collaborative Research)
巻： 2014  ページ： 133-134  発行年： 2015年03月 
JST資料番号： J0876A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 断層 ,  計測技術 ,  レーザー ,  3次元 ,  結晶欠陥 ,  探査 ,  開発