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J-GLOBAL ID：201502225530883907   整理番号：15A0085105

斜め蒸着による金属ナノコラムの成長に与える雰囲気ガスの影響

著者 (4件)： 伊東孝将 (京大 大学院) ,  中嶋薫 (京大 大学院) ,  木村健二 (京大 大学院) ,  鈴木基史 (京大 大学院)
資料名： 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集  (日本学術会議材料工学連合講演会論文集)
巻： 58th  ページ： 228-229  発行年： 2014年10月27日 
JST資料番号： L2574A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 銀 ,  *電子ビーム蒸着 ,  ナノ構造 ,  *柱状晶 ,  結晶成長 ,  気体 ,  雰囲気 ,  走査電子顕微鏡

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 斜め蒸着 ,  ナノコラム ,  成長 ,  雰囲気ガス