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J-GLOBAL ID:201702256270812062   整理番号:17A1138621

結晶化高温アニールによる原子層堆積Al2O3膜バイアス安定性の向上

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資料名:
巻: 78th  ページ: ROMBUNNO.5p-C11-1  発行年: 2017年08月25日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜  ,  金属-絶縁体-半導体構造 

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