特許

J-GLOBAL ID：201703005631531644

マイクロ駆動装置及びそれを用いたマイクロデバイス

発明者： 岩瀬 英治 ,  飯野 知紗
出願人/特許権者： 学校法人早稲田大学
代理人 (7件)： 牛木 護 ,  高橋 知之 ,  守屋 嘉高 ,  田中 淳二 ,  加藤 裕介 ,  齋藤 麻美 ,  中村 聡
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2015060279
公開番号（公開出願番号）：WO2015-152309
出願日： 2015年03月31日
公開日（公表日）： 2015年10月08日
要約：

多軸駆動可能なマイクロ駆動装置(1)であって、可動対象部(3)と、前記可動対象部を軸支し1方向のみに設けられた少なくとも一対の梁(4)とを備え、前記可動対象部(3)は、前記梁(4)が有する一つ又は複数の共振周波数で共振してねじれる又は曲がることによりx軸、y軸及びz軸方向に回転又は並進することを特徴とし、構造の大型化及び構造の複雑化を同時に解消することができる、マイクロ駆動装置。

請求項（抜粋）：

多軸駆動可能なマイクロ駆動装置であって、 可動対象部と、前記可動対象部を軸支し、1方向のみに設けられた少なくとも一対の梁とを備え、 前記可動対象部は、前記梁が有する一つ又は複数の共振周波数で共振してねじれる又は曲がることによりx軸、y軸及びz軸方向に回転又は並進することを特徴とするマイクロ駆動装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B81B 3/00

FI (4件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  G02B26/10 C ,  B81B3/00

Fターム (40件)：

2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045BA12 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MD04 ,  2H141MD12 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141MD17 ,  2H141MD24 ,  2H141MG03 ,  2H141MG06 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ26 ,  3C081AA11 ,  3C081AA13 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA48 ,  3C081CA02 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081DA03 ,  3C081DA04 ,  3C081DA10 ,  3C081DA11 ,  3C081DA25 ,  3C081DA27 ,  3C081DA30 ,  3C081DA31 ,  3C081EA08 ,  3C081EA11 ,  3C081EA14