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J-GLOBAL ID:201902229041548478   整理番号:19A1375715

縦型2DHGダイヤモンドMOSFET;ゲート幅10mmでの大電流動作(~1A)の達成

著者 (10件):
資料名:
巻: 66th  ページ: ROMBUNNO.11p-M113-3  発行年: 2019年02月25日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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縦型デバイスは、横型デバイスに比べ集積化が可能であり、高耐圧/低オン抵抗・大電流動作に優位である。そのため縦型デバイスの開発はパワーデバイス応用において必要不可欠である。我々はC-H終端構造及び高温ALD-Al2O3[1]により面方位に依存...【本文一部表示】
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分類 (2件):
分類
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トランジスタ  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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