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J-GLOBAL ID：201902275770322004   整理番号：19A1370196

極端紫外線フェムト秒パルスによる誘電体のレーザー加工

著者 (13件)： 澁谷達則 (産業技術総合研) ,  坂上和之 (東大) ,  DINH Thanh-Hung (量研) ,  高橋孝 (産業技術総合研) ,  高橋孝 (東大) ,  石野雅彦 (量研) ,  東口武史 (宇都宮大) ,  鷲尾方一 (早稲田大) ,  田中真人 (産業技術総合研) ,  小川博嗣 (産業技術総合研) ,  錦野将元 (量研) ,  小林洋平 (東大) ,  黒田隆之助 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.9p-W631-3  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 近年の自由電子レーザー技術の発展に伴い、極端紫外線領域でも時空間的に高密度な光パルスを利用することが可能となってきた。これまで、レーザー加工の分野では紫外線から遠赤外線領域にまたがる様々なレーザー波長を用いて物質との非線形な相互作用が研究さ...【本文一部表示】

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  パルス ,  レーザパルス ,  極端紫外線 ,  *レーザアブレーション ,  誘電体 ,  光学顕微鏡
準シソーラス用語： *フェムト秒レーザパルス ,  レーザ顕微鏡 ,  合成石英

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 極端紫外線 ,  フェムト秒パルス ,  誘電体 ,  レーザー加工