抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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fcc(111)単結晶下地層上でNi薄膜を形成し,下地層や基板温度がエピタキシャルNi薄膜の形成に及ぼす効果について調べた。Cu(111)
fcc,Au(111)
fcc,Ag(111)
fccいずれの下地層上においてもエピタキシャルNi(111)
fcc薄膜が得られた。Ni薄膜の格子歪みは下地層材料や基板温度により影響された。CuおよびAu下地層上では,界面付近で下地層の原子がNi層へ拡散することによって格子歪みを含むNi薄膜が形成された。基板温度の上昇に伴い下地層原子のNi層への拡散が促されることが分かった。一方,Ag下地層上では格子歪みの少ないNi薄膜が得られた。またこの系では,下地層のAg原子がNi薄膜形成過程でNi層に偏析し,Ag(111)
fcc相とNi(111)
fcc相が組成分離して共存していることが分かった。(著者抄録)