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J-GLOBAL ID:201002278766002502   整理番号:10A1374958

高分解能磁気力顕微鏡観察による高密度磁気記録媒体の記録磁化安定性の検討

High-Resolution Magnetic Force Microscopy Study of Recorded Magnetization Stability of High-Density Magnetic Recording Media
著者 (5件):
資料名:
巻: 110  号: 225(MR2010 22-33)  ページ: 11-18  発行年: 2010年10月07日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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3d強磁性膜(Co,Fe,Ni)を市販の原子間力顕微鏡探針に被覆することによってMFM探針を作製し,MFM空間分解能に及ぼす材料の影響を調べた。高分解能SEM観察により,MFM探針の探針先端半径を測定した。磁性膜の被覆膜厚増加に伴って探針先端の磁性膜体積が増加し,MFM検出感度は向上したが,探針先端半径の増加によりMFM観察分解能は減少した。いずれの磁性材料においても同様のT頃向が認められた。20nm厚のCo膜被覆探針を用いることにより,10nmレベルの空間分解能を得ることができた。作製した高分解能探針を用いて,垂直磁気記録媒体の記録磁化状態安定性およびパターンド媒体の磁化反転特性の高分解能MFM観察を行った。(著者抄録)
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分類 (1件):
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 

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