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J-GLOBAL ID：201202268750642845   整理番号：12A0163732

MgO単結晶基板上におけるFePt,FePd,CoPt,およびCoPd合金薄膜のエピタキシャル成長

Epitaxial Growth of FePt,FePd,CoPt,and CoPd Alloy Thin Films on MgO Single-Crystal Substrates

著者 (4件)： 大竹充 (中央大 理工) ,  大内翔平 (中央大 理工) ,  桐野文良 (東京藝術大 大学院美術研究科) ,  二本正昭 (中央大 理工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 111  号： 350(MR2011 25-33)  ページ： 41-48  発行年： 2011年12月08日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によりMgO単結晶基板上にエピタキシャルFePt,FePd,CoPt,およびCoPd合金薄膜を形成し,膜材料,基板結晶方位,および基板温度が,膜成長,膜構造,および磁気特性に及ぼす影響について系統的に調べた。高い基板温度で形成したFePtおよびFePd膜に対して,MgO(001),(110),(111)のいずれの基板上においても,L1₀規則相が得られた。また,基板温度600°CでMgO(001),(110)基板上に形成したCoPt膜に対しても,L1₀規則相が形成された。これらの膜では,基板温度の上昇に伴い,L1₀相への規則化が進行した。L1₀相への規則度は膜材料により変化し,FePd>FePt>CoPtの順に高い規則度が得られた。MgO(001)基板上では,L1₀-FePd膜はc軸が基板面と垂直である(001)結晶から構成されているのに対し,L1₀-FePtおよびL1₀-CoPt膜は(001)結晶に加え,c軸が基板面と平行となった(100)結晶を含むことが分かった。MgO(110)基板上では,L1₀-FePtおよびL1₀-FePd膜はc軸が基板面と平行である(110)結晶とc軸が膜面垂直方向から約45°傾斜した(011)結晶の複合結晶膜であるのに対し,L1₀-CoPt膜は(110)結晶のみから構成された。MgO(111)基板上では,c軸が膜面垂直方向から約55°傾斜した(111)面が基板面と平行に配向したL1₀-FePtおよびL1₀-FePd膜がエピタキシャル成長した。MgO(111)基板上に形成したCoPt膜に対しては,準安定相であるL1₁規則相が得られた。基板温度を上昇に伴いL1₁相への規則化が促進されたが,基板温度が300°Cを超えると規則度が減少した。CoPd膜に対しては,いずれの規則相も形成されなかった。磁気特性は,膜の結晶構造,結晶方位,および規則度により変化した。(著者抄録)

シソーラス用語： 単結晶 ,  基板 ,  酸化マグネシウム ,  鉄合金 ,  白金含有合金 ,  パラジウム含有合金 ,  コバルト合金 ,  *金属薄膜 ,  *磁性合金 ,  *磁性薄膜 ,  *エピタクシー
準シソーラス用語： *合金薄膜 ,  *エピタキシャル成長

分類 (3件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (5件)： MgO ,  単結晶基板 ,  COPD ,  合金薄膜 ,  エピタキシャル成長