文献
J-GLOBAL ID:200902000039291144
整理番号:85A0345049
ポリ(メタクリロニトリル-共-メタクリル酸)から誘導された橋かけ結合ポジ型レジスト
A cross-linked positive resist derived from poly(methacrylonitrile-co-methacrylic acid).
著者 (3件):
SUZUKI M
(NEC Corp., Kawasaki)
,
OHNISHI Y
(NEC Corp., Kawasaki)
,
FURUTA A
(Sumitomo Chemical Co. Ltd., Takatsuki)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
132
号:
6
ページ:
1390-1393
発行年:
1985年06月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)